Bits&Chips

Laatste nieuws

ASMI komt activistische aandeelhouder tegemoet

24 april 2017 - ASMI brengt zijn belang in ASM Pacific Technology terug van 39 tot 34 procent. Dat maakte de Almeerse machinebouwer maandag bekend. Aandeelhouder Eminence Capital dringt aan op een grotere reductie, maar het ASMI-management acht het aandeel in de... lees meer

Nikon sleept ASML voor de rechter in patentconflict

24 april 2017 - Nikon claimt dat ASML en Carl Zeiss SMT inbreuk maken op elf octrooien voor immersielithografie. Het Japanse bedrijf eist een verbod op de verkoop en distributie van ASML’s immersiesystemen en een schadevergoeding. ASML ontkent de aantijgingen en... lees meer

Verdieping

Boxing with tin droplets to generate EUV light

Boxing with tin droplets to generate EUV light

20 december 2016 - The Advanced Research Center for Nanolithography was established to investigate the advanced physics associated with EUV lithography. This summer, it published its first peek into the complex physics of firing lasers at tin droplets to generate EUV... lees meer