Cymer mist EUV-deadline

6 februari 2012

Cymer is er niet in geslaagd op tijd een EUV-lichtbron van twintig watt af te leveren. Het Amerikaanse bedrijf had de bron uiterlijk in het begin van het lopende kwartaal klaar moeten hebben. De levering is nu uitgesteld naar het einde van het kwartaal, maar dat toestel zal niet meteen de beloofde 20 W leveren. ‘We lopen aanzienlijk achter op onze roadmap’, gaf CEO Bob Akins toe tijdens een conferencecall naar aanleiding van de kwartaalcijfers.

Sinds 2007 was Cymers laser-produced plasma-technologie (LPP) favoriet bij ASML, zelfs al had een ander bedrijf – XTreme Technologies - tot dan toe alle bronnen in het veld geleverd. Oud-Philips-dochter XTreme werkte aan zowel LPP als aan een andere variant, discharge-produced plasma (DPP) maar zette uiteindelijk in op een soort hybride brontechnologie, laser-assisted discharge plasma (LDP). ASML ging daar niet in mee en koos exclusief voor Cymer.

De executie van de Amerikanen valt echter zwaar tegen, liet ASML’s technologietopman Martin van den Brink zich vorig jaar ontvallen tegenover Bits&Chips. Sinds 2010 zijn daarom zowel Cymer als XTreme weer samen in de race. In Japan werkt ook nog Gigaphoton aan een bron.

Paul van Gerven

Terug naar overzicht