'Hoop Canon rust op nano-imprint'
12 maart 2010
Nu Canons pogingen om door te dringen tot de 193-nanometerlithomarkt gestrand lijken te zijn, moet het zijn hoop vestigen op nano-imprintlithografie (Nil). De Japanners hebben al een tot dusverre geheim gehouden partnerschap met de Amerikaanse Nil-toolmaker Molecular Imprints. Op termijn zou dat kunnen leiden tot een overname. Dat zegt Dan Hutcheson van VLSI Research in een interview met EE Times. ‘Ze hebben niets te verliezen’, aldus de analist.
Blijkens opname in de International Technology Roadmap for Semiconductors werd Nil ooit serieus genomen als productiemethode voor CMos. Die race is echter gelopen met EUV als voorlopige winnaar. Wel leek de patroneringstechniek de interesse hebben gewekt van harddiskfabrikanten. Op de recente SPIE-lithografieconferentie werd echter onthuld dat ook deze groep gebruikers Nil-volumeproductie nog een paar jaar uitstellen, aldus EE Times.
Het was reeds bekend dat Canon samenwerkt met een andere Nil-toolfabrikant. Obducat distribueert zijn producten via de kanalen van de Japanners.
Paul van Gerven
Terug naar overzicht