‘Je moet niet je hele leven bij Philips blijven zitten’

26 maart 2009

Hij zei Philips na bijna anderhalf decennium trouwe dienst vaarwel om een eigen IC-verpakkingsbedrijfje op te richten. Het mislukte, maar hij ziet zijn stap nog steeds als het beste besluit van zijn leven – niet in het minst omdat hij terug kon keren naar de academia. Een gesprek met de Delftse hoogleraar en Dimes-directeur Kees Beenakker over zijn cavity, internationalisatie van onderzoek en onderwijs en potten geld.

‘Pittig? Je weet toch dat ik helemaal niet pittig ben?’, antwoordt Kees Beenakker vol gespeelde onschuld op het verzoek om tijdens het op handen zijnde interview toch vooral het achterste van zijn tong te laten zien. Wie Beenakker een beetje kent, weet wel beter. In de informele omgang kan hij hem onwelgevallige fenomenen genadeloos neersabelen. Hij doet dat recht voor zijn raap, soms op het botte af, maar meestal met een dikke knipoog.

Zo stond Beenakker begin februari voor de rechter in zijn functie als wetenschappelijk directeur van chiponderzoeksinstituut Dimes. Voor de ionenimplantator die bij Dimes staat, zou destijds geen vergunning zijn aangevraagd. Vrijspraak volgde, officieel omdat de overheid tekort was geschoten in de regelgeving, maar Beenakker houdt er een heel andere verklaring op na. ‘Gewoon een inspecteur die belangrijk wilde doen’, luidde zijn commentaar. Veel bestuurders durven hem in dergelijk ‘direct taalgebruik’ niet te volgen, zelfs niet off the record.

Beenakker wegzetten als ondiplomatieke botterik doet hem echter beslist geen recht. Mensen in zijn omgeving omschrijven hem zonder uitzondering als een warme persoonlijkheid met uitstekende contactuele eigenschappen. Beenakker de manager stelt mensen centraal en lost problemen liever op met een kop koffie, een goed gesprek of een grapje. Zijn pittige uitspraken ten spijt, als het erop aankomt, zoekt hij de nuance op.

De sociale vaardigheden van Beenakker blijken ook wel uit het enorme netwerk dat hij in de loop van zijn carrière heeft weten op te bouwen. Of ze destijds nu zijn baas of ondergeschikte waren, met velen onderhoudt Beenakker nog altijd een warme band. De man kent dan ook de prachtigste verhalen over de hoofdrolspelers in de Nederlandse micro-elektronica en hij vertelt ze met graagte en smaak. Discretie verhindert de onthulling van details, maar de asbakken vlogen wel eens door de directiekamers, weet Beenakker.

Volgens menigeen heeft de Nederlandse IC-industrie veel te danken aan de persoon van Beenakker en zijn netwerk. Met een twaalfde plek op de wereldranglijst voor IC-ontwerpgroepen, een tweede positie op de Europese versie, net achter het Leuvense lab van Willy Sansen, en een zevende plaats wereldwijd op de ranglijst van de beste engineering schools is de kwaliteit van het Dimes-onderzoek onbetwist. Het instituut geniet dan ook internationaal veel aanzien – volgens Beenakker hoe verder van Nederland, hoe meer. Aan de Nederlandse IC-industrie draagt Dimes een steentje bij door onder meer in zijn goed geoutilleerde cleanroom EUV-detectoren voor ASML’s scanners te ontwikkelen. Ook bracht Beenakkers instituut innovatieoogappel Mapper voort.

Het proactieve wervingsbeleid in het buitenland dat Beenakker ging voeren aan het begin van het decennium oogst eveneens veel waardering. De tweehonderd, meest buitenlandse, aio’s die Dimes nu heeft, blijven voor een belangrijk deel behouden voor de Nederlandse hightechindustrie. In Nederland levert alleen Twente elektrotechnici af met een vergelijkbare specialisatie.

Beenakker mag dan ook gerust een autoriteit heten binnen de Nederlandse micro-elektronica (die tegenwoordig nano-elektronica moet heten, waarover later meer). Niet voor niets is de Dimes-directeur gekozen voorzitter van het academisch adviesorgaan van Point-One en stond hij aan de wieg van STW’s jaarlijkse Safe-conferentie (Semiconductor Advances for Future Electronics and Sensors). Internationaal timmert hij aan de weg met diverse bestuursfuncties in Europese IC-onderzoeksprogramma’s, de oprichting van de International School of Microelectronics in Sjanghai en een gasthoogleraarschap aan de Tsinghua-universiteit in Beijing.

Salpeterzuur

Beenakker (60) belandde min of meer toevallig in de IC-technologie. Na zijn studie natuur- en scheikunde in Leiden en promotie bij Amolf-directeur en ultracentrifugepionier Jacob Kistemaker en de Leidse chemicus Luitzen Oosterhoff, begon hij in 1974 bij Philips. ‘Dat was nog de tijd dat er veel vrijheid van onderzoek was’, blikt Beenakker terug. ‘Je kwam binnen en ze vroegen: wat wil je doen? Dat was het leuke, maar ook het moeilijke. Want je moest zelf bedenken wát je precies wilde doen. Het was de tijd van D66 en de Club van Rome, dus iets met milieu leek me wel leuk.’

Het werd een snuffelpaal, bedoeld om langs de weg schadelijke gassen te detecteren – Philips zat in die tijd nog in de chemische analyse. Een gaschromatograaf zorgde voor de scheiding van het gasmengsel, Beenakker legde zich toe op het ontwerp en de fabricage van een elementspecifieke detector. Zijn inspanningen leverden in 1976 de Beenakker-cavity op, waarin de gassen worden ontleed en aangeslagen met behulp van een met microgolven gegenereerd plasma. De detectie verloopt vervolgens optisch. Met de vinding vond Beenakker tegelijk ook zijn weg naar de IC-industrie, waar plasma’s rond dezelfde tijd hun intree deden in de chipfabricage.

De cavity – er ligt er eentje ‘toevallig’ op zijn bureau - verraadt Beenakkers liefde voor onderzoek, misschien omdat hij zoveel van zijn werkzame leven vooral als manager en niet als hands-on onderzoeker heeft doorgebracht. ‘Ik weet nog goed hoe mijn holte het op een goede middag opeens deed. Overschakelen op een ander dragergas bleek de remedie. Er was maar één groep ter wereld, in Colorado, die iets vergelijkbaars voor elkaar had gekregen voordat het mij lukte. Weet je hoe dat kwam? De luchtdruk. Colorado ligt op drieduizend meter.’ Beenakker kan er smakelijk om lachen, ook al hadden de Amerikanen hem de primeur uit handen gegrist.

Desalniettemin is de Beenakker-cavity nog steeds wereldberoemd in kleine kring, meldt Beenakker niet zonder trots. Nog meer geniet hij van de moderne toepassing die hij onlangs voor zijn cavity vond. ‘Er zijn destijds dingen blijven liggen. Maar zo tegen je pensioen krijg je toch de neiging dingen af te maken. Noem het de verwezenlijking van je jeugddromen.’

Beenakker vond zijn ingang door de overstap die de chipindustrie thans maakt van gouden naar koperen verbindingsdraadjes in chips. ‘Een IC is een zwart ding dat dicht zit. Er zijn echter redenen te over om het open te willen maken. Bijvoorbeeld om te checken of de prototypes degelijk gemaakt zijn of om failure analysis uit te voeren. Je hebt daarvoor twee mogelijkheden. Of je neemt een röntgenfoto, maar als het substraat van koper is, zie je de koperen draadjes niet. Het alternatief is een jetstream van kokend salpeterzuur om de verpakking weg te vreten, maar die tast ook het koper aan. Met andere woorden: voor chips met koperen draadjes werken beide traditionele methodes niet.’

Het plasma uit een Beenakker-cavity, onder toevoeging van de juiste ingrediënten, bleek de verpakking van plastic en kwarts ook heel goed weg te etsen. ‘Een beetje zuurstof erbij voor het plastic en een beetje tetrafluormethaan voor het kwarts’, en het omhulsel verdwijnt als sneeuw voor de zon. De vinding prikkelt onmiddellijk de ondernemersgeest van de hoogleraar. ‘Ik speel met de gedachte er iets commercieels mee te doen.’

Rotzak

Ondernemen is Beenakker niet vreemd. Na dertien jaar dienst bij Philips, waarvan de laatste vijf als hoofd assemblage en equipmentontwikkeling bij de Nijmeegse Semiconductors-tak, nam hij ontslag om in 1987 medeoprichter te worden van een eigen bedrijf. Eurasem is een soort foundry voor IC-assemblage, tegenwoordig het vrijwel exclusieve domein van Aziatische bedrijven. ‘We zetten in op de komst van hogere importtarieven, op verregaande automatisering en op nabijheid bij de klant. Daardoor zou het toch gunstig zijn om in Europa te assembleren.’

Het liep allemaal een beetje anders. De importtarieven bleven uit, de Chinezen ‘waren ook niet gek’ en kochten dezelfde machines en de grootste klant kwam uit Amerika. Op klandizie van Philips hoefde Beenakker niet te rekenen. ‘Het was de bedoeling dat er rondom Philips allerlei kleine bedrijfjes zouden komen. Nou, daar heb ik weinig van gemerkt. Ik kreeg alleen dreigbrieven van juristen.’

‘Die Amerikanen betaalden grof, moet ik zeggen. Maar ja, toen die ermee uitscheden, was het gauw afgelopen.’ Eurasem ging failliet en Beenakker vertrok naar Delft. Het bedrijfje maakte echter tot twee keer toe een doorstart en bloeit nu onder de vlag van het Duitse Elmos. ‘Zo gaat dat. Soms ga je een paar keer failliet voordat je de juiste markt te pakken hebt.’

Miljonair is Beenakker er niet van geworden, maar hij beschouwt de stap om bij Philips weg te gaan nog altijd als zijn beste besluit ooit. ‘Je komt er pas achter als je er weg bent. Bij Philips wordt alles voor je geregeld. Het echte leven ken je niet. Zij vinden van wel natuurlijk, maar dat ontken ik maar even voor het gemak. Eenmaal op eigen benen genoot ik van de vrijheid en verantwoordelijkheid.’ Niet dat Philips geen pluspunten heeft. ‘Je leert er heel veel. Kijk maar hoe goed veel ex-Philips-mensen terechtkomen. Je moet er alleen niet je hele leven blijven zitten.’

Het doet Beenakker denken aan zijn voormalige baas bij Philips Semiconductors, Willem Maris, die uitstekend terecht is gekomen. ‘Als baas assemblage stoorde hij zich aan de manier waarop de spullen bij de klant aankwamen, in allerlei verschillende dozen met allemaal verschillende logo’s van de diverse Europese vestigingen. Hij wilde daar eenheid in brengen, tot grote lol van de Philips-intelligentia. Een onderdirecteur die zich met dozen bezighoudt! Maar het is wel de man die dankzij groot doorzettingsvermogen en grote klantgerichtheid ASML groot heeft gemaakt.’ Maris was CEO van de Veldhovense machinebouwer van 1990 tot 2000.

Toch had de Delftse hoogleraar al veel eerder in zijn carrière gemerkt dat het loont niet al te honkvast te zijn. Toen hij nog volop in de weer was met zijn cavity kwam er op een kwade dag een onderdirecteur langs. ‘Die wilde mij in de vaart der volkeren brengen als manager. Hij zei: ‘Beste Kees, je gaat nu wat anders doen.’ Potverdorie, ben je net op het hoogtepunt van je onderzoek en dan komt er zo’n rotzak langs. Zo voel je dat op dat moment.’ Later kwam Beenakker tot inkeer. ‘Je leert er een hoop van, want je begint als Jan met de korte achternaam helemaal opnieuw in een ander wereldje. Je moet je opnieuw waarmaken, het voorkomt arrogantie.’

Zijn derde en laatste grote carrièreswitch kwam in 1989, toen Beenakker overstapte naar Dimes. Hij aanvaardde er achtereenvolgens een hoogleraarschap in dunnelagentechnologie, het voorzitterschap van het ECTM-laboratorium (Electronic Components, Materials and Technology), het voorzitterschap van de afdeling Micro-elektronica & Computerengineering en in 2007 de leiding over Dimes. ‘Bij Philips was ik heel internationaal bezig, bij Eurasem heel lokaal. Ik miste dat. Maar ja, als je overmorgen miljonair wordt, is dat een hele troost’, lacht hij. Bij Dimes kon hij zijn drang naar het internationale weer heerlijk botvieren.

Potten geld

Beenakkers grootste trots als Dimes-baas is de inzet op nóg meer internationalisatie. ‘Dimes is het meest internationale instituut van Nederland, altijd geweest. Kijk maar naar ons hooglerarenbestand, ik ben bij wijze van spreken de enige Nederlander.’ Op zijn karakteristieke wijze legt hij uit hoe hij vervolgens op het idee kwam ook meer variatie in het studenten- en aio-bestand te brengen. ‘Er stond op een goede dag eens een neger in mijn kamer’, zegt Beenakker zonder zich druk te maken om gevoeligheden. ‘Hij sprak geen woord Engels. Dus wat doe je dan als hoogleraar: je stuurt hem door naar een andere collega. Maar hij was al tien keer doorverwezen. Dat zette me aan het denken om de internationalisatie van de opleiding meer professioneel op te zetten.’

Bij de invoering van de bachelor-masterstructuur rook Beenakkers zijn kans, omdat masteronderwijs vanaf toen in het Engels mocht worden gegeven. Het enige obstakel: de financiering. Beenakker dist nog maar eens een anekdote op: ‘We gingen rond 2000 met alle EWI-hoogleraren (Elektrotechniek, Wiskunde en Informatica, PvG) op jaarlijkse excursie, toevallig naar Philips Semiconductors in Nijmegen. In de bus zei ik al: jongens, let op mijn woorden, die gaan klagen dat ze niet aan mensen kunnen komen. En ja hoor, plantmanager Jan Raaijmakers begon er prompt over. Dus, zoals afgesproken in de bus, riepen alle hoogleraren in koor dat hij dan maar geld moest geven.’

Semiconductors stond welwillend tegenover het Delftse initiatief en kwam aanvankelijk met 150 duizend gulden over de brug om buitenlandse Dimes-studenten te sponsoren, bestuurder Theo Claassen verdubbelde dat en CTO René Penning de Vries maakte van de guldens euro’s. Op het hoogtepunt droeg NXP dus drie euroton bij en andere hightechbedrijven volgden spoedig. ‘Het aardige is, je ziet de boel opklaren. Van de pakweg zeventig studenten die jaarlijks vanuit het vwo instromen in de elektrotechniek halen er zo’n veertig hun bachelor. Die moeten dan weer kiezen tussen microelektronica, power engineering en telecom. Al met al komen er hooguit tien bij micro-elektronica uit. Verdeel die over vijf vakgroepen en je hebt er een of twee per sectie. Nu geven hoogleraren college voor zeventig man en dat is toch meer inspirerend dan een bijna lege zaal.’ Zeventig procent van de buitenlandse aanwas komt uit China, een erfenis van de contacten die Beenakker in dat land opdeed toen hij nog voor Philips Semiconductors werkte.

Velen zien in de Aziatische tijger de beul van de Europese chipindustrie, maar Beenakker heeft daar een andere kijk op. ‘Het is jammer dat Europa zo veel geld heeft gestoken in geavanceerd CMos. Dan doet de hele wereld hetzelfde, wat heb je daar nou aan? Bij Philips zeiden de jongens van bipolaire schakelingen dat zij het geld verdienden, die van CMos dat zij de toekomst hadden. Dat is altijd zo gebleven.’

Standaard processen kunnen we beter aan Aziaten overlaten, denkt Beenakker. ‘Ze zijn gewoon beter in productie.’ Hij zucht. ‘Met de productieafdeling bij Eurasem was echt geen land te bezeilen. Het eerste dat een nieuwe ploeg deed, was aan knoppen draaien. Een Aziaat zou dat nooit doen. Ja, als de machine uit zijn limiet loopt, dan grijpt hij in.’Beenakkers alternatief voor mainstream-CMos is geen verrassing, aangezien het samenvalt met het type onderzoek dat Dimes al doet sinds zijn oprichting in 1987. Binnen de elektronica richten de Delftenaren zich volledig op ontwerp en integratie van verschillende componenten en functies op één chip of in één verpakking. Tegenwoordig heet dat ‘More than Moore-onderzoek’ en dat wint rap aan belangstelling onder Europese chipbedrijven – NXP voorop. Daarnaast heeft Dimes onderzoekslijnen lopen in microsystemen en Mems, large-area elektronica en zonnecellen.

Toch liet Beenakker zich bij zijn aantreden verleiden om nano-elektronica, een begrip dat meer associaties oproept met geavanceerd CMos dan met Dimes’ traditionele microwerkgebied, bij het Dimes-logo te zetten. ‘Dimes stond oorspronkelijk voor ‘Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology’. Nu is het gewoon ‘Dimes’ en staat er ‘Delft Institute of Microsystems en Nanoelectronics’ onder.’

De naamsverandering was zuiver door pr-motieven ingegeven, erkent Beenakker. ‘Mensen vinden micro tegenwoordig ouderwets, ook al is het verschil tussen micro en nano artificieel. Als groot pr-strateeg bedacht ik dat we daar dan maar eens in mee moesten bewegen’, smaalt de hoogleraar, om onmiddellijk te verzuchten dat pr zijn blinde vlek is. ‘Voor Europa heb ik onlangs een strategisch-programmaofficier aangesteld, dat zal zeker helpen. Alleen binnen Nederland doet Dimes betrekkelijk geruisloos zijn werk.’

Veel schade heeft de accentverschuiving in de naam niet gedaan. Beenakker komt vooralsnog zo makkelijk aan onderzoeksgeld dat hij zich niet echt hoefde op te winden over het feit dat zijn instituut niet eens in de onderzoeksagenda van het Nederlands Nano-initiatief genoemd stond, ook al bleek microtechnologie daar wel degelijk onder te vallen. ‘Ik heb me er niet zo mee bemoeid. Die grote potten geld, ach, het lijkt altijd meer dan het is. Iedereen begint te rennen om een paar aio’s binnen te halen en na tientallen vergaderingen hou je er een halve aan over. Ik probeer efficiënt te zijn’, zegt de veteraan droogjes.

Paul van Gerven

Terug naar overzicht